壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用的一種傳感器,一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號,或在一段連續的時(shí)間間隔內,輸出為數字信號,而通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應制造而成的,這樣的傳感器也稱(chēng)為壓電傳感器
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1.線(xiàn)性誤差
這是一個(gè)對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn),也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器。
2.偏移量誤差
由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
3.靈敏度誤差
產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數,如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過(guò)程的變化。
4.滯后誤差
在大多數情形中,壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度,一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設備,利用高新技術(shù)來(lái)降低這些誤差,還可以在出廠(chǎng)的時(shí)候進(jìn)行一點(diǎn)的誤差校準,盡大的可能來(lái)降低誤差以滿(mǎn)足客戶(hù)的需要。